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使用臭氧同時脫硫脫硝的影響要素首要有摩爾比、反響溫度、反響時間、吸收液性質等，這些要素對脫硝和脫硫功率都有不一樣程度的影響。

2.1 摩爾比 摩爾比（O3/NO）是指O3與NO 之間摩爾數的比值，它反映了臭氧量相對于一氧化氮量的凹凸。NO 的氧化率隨O3/NO 的升高直線上升。現在已有的研討中，在0.9≤O3/NO＜1的情況下，脫硝率可到達85%以上，有的乃至簡直到達100%。依據式（1）可見，O3與 NO 完全反響的摩爾比理論值為1，但在實踐中，因為別的物質的攪擾，可發作一系列別的反響，如式（2）～（5），使得O3不能100%與NO 進行反響。

2.2 溫度 因為 臭氧的生計周期關系到脫硫脫硝功率的凹凸，所以調查臭氧對溫度的敏感性具有重要意義。對臭氧的熱分化特性的研討中得出在150℃的低溫條件下，臭氧的分化 率不高，但隨著溫度添加到250℃乃至更高時，臭氧分化速度顯著加速。出在25℃時臭氧的分化率只需0.5%，當溫度高于200℃時，分化率明顯添加。這 些成果對研討臭氧在煙氣中的生計時間及氧化反響時間具有重要意義。

2.3 反響時間 臭氧 在煙氣中的停留時間只需可以保證氧化反響的完結即可，在ISHWAR K. PURI 的研討中，反響時間在1～104s 之間對反響器出口的NO 摩爾數沒有什么影響，并且添加停留時間并不能增大NO 的脫除率。這首要是因為關鍵反響的反響平衡在很短時間內即可到達，不需求較長的臭氧停留時間。

2.4 吸收液性質 使用 臭氧將NO 氧化為高價態的氮氧化物后，需求進一步地吸收。多見的吸收液有Ca(OH)2、NaOH 等堿液。不一樣的吸收劑產生的脫除作用會有必定的區別。例如王智化等人在使用水吸收尾氣時，NO 和SO2的脫除功率別離到達86.27%和100%。這是使用氣體在水中的溶解度進行吸收，也有實驗使用吸收液將高價氮氧化物還原變成N2后直接排入大氣 中，如Young Sun Mok 和Heon-Ju Lee 選用Na2S 和NaOH 溶液作為吸收劑，NOx 的去掉率高達95%，SO2去掉率約為100%，但存在吸收液耗費量大的疑問。

3、臭氧氧化技能的工程使用 北京山美水美一種低溫氧化技能，將氧/臭氧混合氣注入再生器煙道，將NOX 氧化成高價態且易溶于水的N2O3和N2O5，然后經過洗刷構成HNO3。